Разработка маломощного радиационно-стимулированного источника питания на основе кремниевой p-i-n структуры

В ходе выполнения 2 этапа проекта по Соглашению о предоставлении субсидии от 17 июня 2014 г. № 14.575.21.0010 с Минобрнауки России в рамках федеральной целевой программы «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2014-2020 годы» на этапе № 2 в период с 01.01.2015 г по 30.06.2015 г выполнялись следующие работы:

• Проверка работоспособности измерительного стенда для проверки параметров маломощного радиационно-стимулированного источника питания на основе кремниевой p-i-n структуры.
• Разработка топологии экспериментальных образцов маломощного радиационно-стимулированного источника питания на основе кремниевой p-i-n структуры.
• Разработка эскизной конструкторской документации маломощного радиационно-стимулированного источника питания на основе кремниевой p-i-n структуры.
• Разработка методики экспериментальных исследований экспериментальных образцов маломощного радиационно-стимулированного источника питания на основе кремниевой p-i-n структуры.
• Разработка технологического маршрута изготовления экспериментальных образцов маломощного радиационно-стимулированного источника питания на основе кремниевой p-i-n структуры.
• Изготовление экспериментальных образцов маломощного радиационно-стимулированного источника питания на основе кремниевой p-i-n структуры.

При этом были получены следующие результаты:

• В ходе выполнения второго этапа ПНИ проведена отработка разработанного стенда, показано что, стенд является работоспособным для проведения измерений параметров маломощных радиационно-стимулированных источников питания, показано что, стенд соответствует требуемым параметрам.
• Были разработаны топологические чертежи в среде LayEdit различных вариантов конструкций кремниевых чипов, с минимальной топологической нормой 4 мкм для пластин диаметром 76 и 100 мм, а также изготовлены фотошаблоны размерами 127×127 мм и 102×102 мм.
• Была разработана эскизная конструкторская документация маломощного радиационно-стимулированного источника питания на основе кремниевой p-i-n структуры, состоящая из чертежа общего вида и топологической схемы кристалла маломощного радиационно-стимулированного источника питания, чертежа общего вида маломощного радиационно-стимулированного источника питания и никелевой прокладки.
• Для определения значений основных параметров экспериментальных образцов маломощного радиационно-стимулированного источника питания на измерительном стенде были разработаны программа и методика исследований, включающие в себя измерения вольт-амперных характеристик, темнового тока, тока короткого замыкания и напряжения холостого хода.
• Разработан технологический маршрут изготовления экспериментальных образцов маломощного радиационно-стимулированного источника питания на основе кремниевой p-i-n структуры. Составлена маршрутная карта изготовления экспериментальных образцов маломощного радиационно-стимулированного источника питания на основе кремниевой p-i-n структуры.
• По разработанным топологическим чертежам и технологическому маршруту на технологической базе ОАО «Оптрон» были изготовлены экспериментальные образцы маломощного радиационно-стимулированного источника питания на основе кремниевой p-i-n структуры в количестве 10 штук.

Таким образом, задачи 2-го этапа выполнены с надлежащим качеством в полном объеме в соответствии с требованиями ТЗ и создан задел для исполнения последующих этапов НИР.

Сведения о ходе выполнения исследований (проекта) размещены в открытом доступе на официальном сайте НИТУ «МИСиС».