- Рентгеновский фотоэлектронный спектрометр PHI VersaProbe II 5000
- Сканирующий зондовый микроскоп MFP 3D Stand Аlone (Asylum Research)
- Установка магнетронного напыления Sunpla 40TM
- Комплекс оборудования для послеростовой подготовки поверхности (Фемтосекундная система «Авеста», установка плазмохимической обработки «ТеТеМ»)
- Полевой эмиссионный растровый электронный микроскоп JSM-6700F с приставкой энергодисперсионного микроанализатора JED-2300F фирмы Jeol
- Просвечивающий электронный микроскоп JEM-2100 фирмы Jeol
- Растровый электронный микроскоп JSM-6700F с микроанализатором фирмы Jeol
- Электронный оже-спектрометр PHI 680 AES фирмы Physical Electronics
- Сканирующий ионный микроскоп Strata-201 фирмы FEI Company
- Рентгеновский дифрактометр высокого разрешения Bede D`System фирмы Bede Scientific Instruments Ltd
- Высокотемпературный дифференциальный сканирующий калориметр DSC 404 C Pegasus
- Анализатор температуропроводности NETZSCH LFA 457 MicroFlash