Кафедра Технологии материалов электроники была создана 1 августа 1998 г. путем слияния двух кафедр факультета полупроводниковых материалов и приборов: технологии материалов твердотельной электроники и микротехнологии электронных компонентов. Обе кафедры ведут свою историю с момента образования в 1962 г. полупроводникового факультета и имеют славную историю и традиции, которые бережно сохраняются коллективом объединенной кафедры.
С 2006 г. в соответствии с программой реструктуризации НИТУ «МИСиС» кафедра Технологии материалов электроники вошла в состав Института Физико-Химии Материалов. С момента образования по декабрь 2009 года кафедрой руководил заслуженный деятель науки РФ, доктор технических наук, профессор Кожитов Лев Васильевич.
17 декабря 2009 г. Ученый совет университета избрал новым руководителем кафедры профессора, доктора физико-математических наук Владимира Григорьевича Костишина.
В настоящее время на кафедре работают 6 профессоров со степенью доктора наук и 10 доцентов — кандидатов наук, 2 ассистента-кандидата наук и 2 ассистента без ученой степени.
